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三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有好的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。
特性：
1~3维自由组合
• 位移行程8μm • 大承载0.8kg • 重复定位精度可达纳米级
• 亚毫秒响应时间
1-3维平移台
P63系列压电纳米定位台，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。
典型应用
• 显微成像 • 纳米定位
• 生物技术 • 半导体技术
• 质量保证测试 • 微车削
• 原子力显微镜
小体积、高精度、响应速度快
P63系列压电纳米定位台重要的特点是超级精密 且体积非常小巧，尺寸仅为30×24×42mm（X轴尺寸 为30×24×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。
P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是 为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设 计的，具有超低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置 高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
应用实例
P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削 力测试实验中。
三维XYZ向压电纳米定位台技术参数：
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P63.X7S P63.X7K | P63.Z7S P63.Z7K | P63.XY7S P63.XY7K | P63.XZ7S P63.XZ7K | P63.XYZ7S P63.XYZ7K |
单位 |
| 运动自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z |
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| 标称行程范围（0~120V） | 5.5 | 5.5 | 5.5/轴 | 5.5/轴 | 5.5/轴 | μm±20% | |
| 大行程范围（-20~150V） | 8 | 8 | 8/轴 | 8/轴 | 8/轴 | μm±20% | |
| 传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
| |
| 闭/开环分辨率 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | nm | |
| 闭环线性度 | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滚动 | <5 | <5 | <10 | <10 | <15 | µrad | |
| 推/拉力 | 10/2 | 12/2 | 8/2 | 9/2 | 7/2 | N | |
| 运动方向刚度 | 1.5 | 2 | X1.2/Y1.4 | X1.2/Z1.5 | X0.9/Y1/Z1.2 | N/μm±20% | |
| 空载谐振频率 | 2 | 2.5 | X1.3/Y1.9 | X1.5/Z1.6 | X0.9/Y0.95/Z1.2 | kHz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | ms±20% | |
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闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 1000 | 1000 | 500 | 500 | 200 |
Hz±20% |
| 行程 | 200 | 200 | 100 | 100 | 50 | ||
| 大承载 | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.5 | 0.4 | kg | |
| 静电容量 | 0.8 | 0.8 | 0.8/轴 | 0.8/轴 | 0.8/轴 | μF±20% | |
| 材质 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 |
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| 重量 | 70 | 70 | 120 | 120 | 160 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
